Piedestalvärmare för halvledarindustrin

För den avancerade uppvärmningsapplikationen som kräver enhetlig temperatur vid högre driftstemperaturer än traditionella värmare, är PyrAlloy en hyperledande komposit av (1500 watt/mK) termiskt glödgad grafit som smälts inuti en värmeplatta med värmeelementet för att producera en enhetlig temperatur distribution på ytan av en värmeplatta. PyrAlloy är en patentkomposit som består av ett termiskt pyrolytiskt grafitskikt och ett värmeelement som är vakuumlödda till rostfria plattor för att producera en värmeplatta. Denna komposit med hög värmeledningsförmåga distribuerar värme effektivt, sänker den interna dielektriska temperatur på värmeelementet. Detta minskar läckströmmen vid förhöjda temperaturer och höjer värmarens maximala temperatur. PyrAlloy värmeplattor kan ge en temperaturlikformighet på +/- 0,5 % och maximala temperaturklasser upp till 600°C i rostfritt. Liknande förbättringar kan tillverkas i aluminium.